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廈門韞茂ALD設(shè)備

信息介紹:  
廈門韞茂ALD設(shè)備
一、雙腔室高真空等離子體ALD設(shè)備核心參數(shù):
產(chǎn)地類別:國產(chǎn)原子層沉積系統(tǒng)(ALD)
襯底尺寸:Ф200mm
工藝溫度:RT-500±1oC
前驅(qū)體數(shù):**可包括3組等離子體反應(yīng)氣體4組液態(tài)或固態(tài)反應(yīng)前驅(qū)體
重量:300KG
尺寸(WxHxD):1400*1000*1900mm
均勻性:均一性<1%
二、雙腔室高真空等離子體ALD設(shè)備應(yīng)用原理分析:
原子層沉積(Atomiclayerdeposition)是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無針孔、高保形的納米薄膜。
等離子體增強原子層沉積(PlasmaEnhancedAtomicLayerDeposition,PEALD)是對ALD技術(shù)的擴展,通過等離子體的引入,產(chǎn)生大量活性自由基,增強了前驅(qū)體物質(zhì)的反應(yīng)活性,從而拓展了ALD對前驅(qū)源的選擇范圍和應(yīng)用要求,縮短了反應(yīng)周期的時間,同時也降低了對樣品沉積溫度的要求,可以實現(xiàn)低溫甚至常溫沉積,特別適合于對溫度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉積。
ALD設(shè)備
http://www.xmyunmao.com/Products-37577389.html
https://www.chem17.com/st522215/product_37577389.html

信息明細(xì):  
名 稱:廈門韞茂ALD設(shè)備
類 型: 供應(yīng)
類 別:化工行業(yè) 干燥設(shè)備
地 區(qū): 浙江 杭州
用 戶: huren2
日 期: 2023-04-17 13:05:23
發(fā)布IP: 101.69.225.196

[參考圖片]

聯(lián)絡(luò)方式:  
yy339j@126.com


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