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威固特VGT-15204FST硅片晶圓超聲波清洗機


發(fā)布時間:2020-08-31   資訊類別: 其它資訊   我要發(fā)布
型號:VGT-15204FST

產(chǎn)品特點:

1、械手或多機械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求。  
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。  
3、自動上下料臺,準確上卸工件。  
4、凈化烘干槽,獨特的烘干前處理技術,工作干燥無水漬。  
5、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。  
6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。  
7、全封閉清洗均勻。  
8、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。

應用范圍:

1、爐前清洗:擴散前清洗。  
2、光刻后清洗:除去光刻膠。  
3、氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。  
4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。  
5、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。  
6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣。  
7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。  
8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。  
9、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。  
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污

技術參數(shù):

超聲波功率:10.2KW
超聲波頻率:28,40,60KHZ
換能器數(shù)量:204個
電源電壓:220V

技術優(yōu)勢:

硅片晶圓生產(chǎn)清洗工藝中,使用超聲波清洗機**去除硅片晶圓表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。清洗硅片晶圓同時也采用了: 三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業(yè);第三代**技術,**完善的防酸防腐措施,保護到機器每一個角落 ;獨特的硅片干燥前處理技術,保證硅片干燥不留任何水痕 ;成熟的硅片干燥工藝,多種先進技術集于一身 。

資訊來源:威固特  

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